Предложена модель мазера Н₂О в линии 658 ГГц между вращательными уровнями 1₁₀ и 1₀₁ возбужденного колебательного состояния молекулы. Источники мазерного излучения 658 ГГц располагаются во внутренних областях оболочек звезд позднего спектрального класса. Для накачки мазера необходимы высокая температура газа > 1000 К и высокие плотности ∼ 10⁹ - 10¹⁰ см^-3.