Название:	Исследование плазмонных эффектов в наноструктурах из нитеподобных кристаллов кремния с частицами серебра
Грантодатель:	РФФИ
Область знаний:	02 - Физика и науки о космосе
Научная дисциплина:	02-310 Физическая оптика; 02-205 Нано- и микроструктуры
Ключевые слова:	Каталитическое и метал-стимулированное травление Si, наночастицы серебра, поверхностный плазмон, локализованный плазмон, электрохимическое травление Si, наноструктуры на Si, нитеподобные нанокристаллы, диэлектрическая проницаемость, эллипсометрия
Тип:	исследовательский
Руководитель(и):	Толмачев,ВА
Подразделения:	лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ)
Код проекта:	17-02-01116
Финансирование 2017 г.:	700 000
Исполнители:	Грудинкин,СА: лаб. физики аморфных полупроводников (Стовпяга,ЕЮ) Гущина,ЕВ: лаб. оптики поверхности (Берковица,ВЛ) Жарова,ЮА: лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ) Коштял,ЮМ: лаб. литий-ионной технологии (Жданова,ВВ) Павлов,СИ: лаб. диагностики материалов и структур твердотельной электроники (Брункова,ПН) Парфеньева-Черниенко,АВ: лаб. мощных полупроводниковых приборов (Векслера,МИ)

Основной задачей проекта является создание композитных слоев, состоящих из массива нитеподобных нанокристаллов Si с осажденными на их поверхностях наночастицами серебра, и исследование плазмонных резонансов с помощью многоугловой спектральной эллипсо метрии. В проекте предполагается для получения исходных наноструктур Si использовать металл- стимулированное химическое (каталитическое) травление кремния с разным уровнем легирования и разной кристаллографической ориентацией, создание как самоорганизующихся, так и упорядоченных массивов нитеподобных нанокристаллов. Будут получены композитные структуры путем химического осаждения на всей поверхности нанокристаллов Si наночастиц из раствора Ag, а также из газовой фазы с помощью метода молекулярного наслаивания. Исследование оптических свойств самоорганизующихся и упорядоченных массивов наночастиц Ag на кремнии, слоев кремниевых нанокристаллов и композитов на их основе будет впервые осуществлено с помощью спектральной эллипсометрии и спектрофотометрии. Измеренные оптические характеристики позволят определить поляризационно-угловые параметры отраженного излучения в УФ-, видимом и ближнем ИК диапазоне и выявить зависимость поверхностных и локализованных плазмонов, а также комплексных диэлектрических функций, от материальных параметров наночастиц (размеров и расстояний между ними). Предполагается оценить влияние оптических свойств окружающей среды и адсорбированных слоев в композитном слое на плазмонные резонансы