Название:	Диагностика и оптимизация параметров лазерно-плазменного источника излучения (ЛПИ) для нанолитографа с целью получения максимального выхода излучения в спектральной полосе 2% от рабочей длины волны 13,4 nm
Грантодатель:	РФФИ
Область знаний:	08 - фундаментальные основы инженерных наук
Научная дисциплина:	08-302 Плазменные, лучевые и электронные технологии 02-600 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ 02-610 Физика высокотемпературной плазмы и УТС 02-620 Ф
Ключевые слова:	нанолитография, лазерно-плазменный источник, спектроскопия, сверхзвуковая газовая струя, конверсия излучения, диагностические методы.
Время действия проекта:	2006-2008
Тип:	исследовательский
Руководитель(и):	Белик,ВП
Подразделения:	лаб. процессов атомных столкновений (Афанасьева,ВИ)
Код проекта:	06-08-01230
Финансирование 2006 г.:	0
Финансирование 2007 г.:	0
Финансирование 2008 г.:	0
Исполнители:	Домрачева,ИВ: None Забродский,ВВ: лаб. квантоворазмерных гетероструктур (Иванова,СВ) Калмыков,СГ: None Маркосов,МС: None Рымалис,МР: None Сейсян,РП: None Смирнов,ДН: лаб. физической газодинамики (Поняева,СА) Тумакаев,ГК: лаб. физической газодинамики (Поняева,СА)

Поиск источников излучения дальнего ВУФ (extreme ultraviolet (EUV)) диапазона (? =13,4 нм), удовлетворяющих требованиям нанолитографии СБИС и нанотехнологий для новых поколений элементной базы микроэлектроники является одной из фундаментальных научно-инженерных задач сегодня и в перспективе. Они должны иметь высокий коэффициент конверсии вкладываемой энергии в излучение EUV диапазона, малый (в идеале - отсутствующий) уровень загрязнений (распыляемого вещества) и высокую экономическую эффективность. Всем этим требованиям, как показывают многочисленные исследования, в наибольшей степени отвечают лазерно-плазменные источники (ЛПИ), инициируемые мощным лазерным излучением на твердотельных и газовых мишенях. В данном проекте предлагается применить (и, частично, создать) комплекс диагностик для исследования параметров перспективных ЛПИ на сверхзвуковой газовой струе ксенона и на твердотельных мишенях из олова и материалов, содержащих элементы Li, F, O. В число разработанных участниками проекта диагностик входят: измерение спектрального состава ЛПИ компактным спектрометром на область 8 - 25 нм; измерение абсолютной интенсивности ЛПИ в 3% спектральной полосе от рабочей длины волны 13,4 нм с помощью фотодетекторов с выделенной полосой пропускания (11- 17 нм); измерение динамики развития (во времени и пространстве) свечения ЛПИ в EUV области спектра - методом сверхскоростной фотосъемки с конверсией EUV излучения в видимое. Конечная цель работы - на основе проведенных исследований найти оптимальный материал мишени и необходимые параметры ЛПИ для получения максимальной интенсивности излучения на длине волны 13,4 нм.